|
Книга ID: 1595780
Высокопроизводительный метод имплантации интенсивными атомарными потоками в области промежуточных энергий (0,5 кэВ-10кэВ) / В. И. Волосов, И. Н. Чуркин
Тематика, ключевые слова:
Атомные пучки - Формирование. Титан - Легирование атомными потоками.
Сведения об издании:
Новосибирск ГНЦ РФ ИЯФ 1996 15 с. 20 см
Язык:
rus
|
|