Основы расчета параметров и создание автоматизированного многомерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 05.13.07. Одиноков, Вадим Васильевич. Москва 1995. купить

Регистрация

Вход

Изготовление электронных копий любых изданий

	Автор: Одиноков, Вадим Васильевич
	Книга ID: 158905 Основы расчета параметров и создание автоматизированного многомерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 05.13.07 Тематика, ключевые слова: Автоматизация технологических процессов и производств ( в том числе по отраслям ). вакуумное оборудование. система распыления. Сведения об издании: Москва 1995 32 с. 20х15 см Язык: rus	Цена не определена. Для уточнения: WhatsApp или [email protected]