|
Книга ID: 158149
Кинетика накопления и отжига радиационных дефектов в активных областях кремниевых МОП и КМОП структур : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков. радиационные дефекты. ремниевые структуры.
Сведения об издании:
Москва 1996 189 с.
Язык:
rus
|
|