|
Книга ID: 15682
Геттерирование и пассивация примесей и радиационных дефектов в кремнии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Ин-т физики полупроводников
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Сведения об издании:
Новосибирск 1993 18 с.
Язык:
rus
|
|