|
Книга ID: 1566906
Диэлектрические пленки в полупроводниковой электронике Учеб. пособие по курсу "Физ.-техн. основы технологии микроэлектроники" И. Н. Сорокин, М. В. Акуленок; Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
Тематика, ключевые слова:
Диэлектрические пленки. Полупроводниковые приборы - Элементная база.
Сведения об издании:
М. МГИЭТ(ТУ) 1995 116 с. 20 см
Язык:
rus
|
|