|
Книга ID: 155975
Разработка и исследование технологии изготовления структур "кремний на изоляторе" с применением избирательного химического травления кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Тематика, ключевые слова:
Технология полупроводников и материалов электронной техники. химическое травление.
Сведения об издании:
Москва 1996 229 с.
Язык:
rus
|
|