|
Книга ID: 155957
Разработка методов оценки и обеспечения коррозионной стойкости алюминиевой металлизации КМОП ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника. металлизация алюминиевая. стойкость коррозионная.
Сведения об издании:
Москва 1996 167 с.
Язык:
rus
|
|