|
Книга ID: 1538767
Технология материалов электронной техники Теория процессов полупроводниковой технологии : [Учеб. для вузов по направлению "Электрон. и микроэлектроника" и спец. "Материалы и компоненты твердотельной электрон."] В. В. Крапухин, И. А. Соколов, Г. Д. Кузнецов
Тематика, ключевые слова:
Полупроводники - Производство - Физико-химические основы.
Сведения об издании:
М. МИСИС 1995 495 с. 23 см
Язык:
rus
|
|