|
Книга ID: 151866
Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : диссертация ... кандидата технических наук : 05.02.11
Тематика, ключевые слова:
Методы контроля и диагностика в машиностроении. лазерные методы контроля.
Сведения об издании:
Санкт-Петербург 1994 147 с.
Язык:
rus
|
|