|
Книга ID: 1508744
Эпитаксиальные процессы в технологии микроэлектроники Учеб. пособие по курсу "Физ.-хим. основы технологии микроэлектроники" М. В. Акуленок; Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
Тематика, ключевые слова:
Полупроводниковые пленки - Получение. Микроэлектронные схемы полупроводниковые - Производство.
Сведения об издании:
М. МИЭТ 1993 84 с. 20 см
Язык:
rus
|
|