|
Книга ID: 150126
Исследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Черноголовка 1996 185 с.
Язык:
rus
|
|