|
Книга ID: 149601
Исследоввание процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Тематика, ключевые слова:
Технология полупроводников и материалов электронной техники.
Сведения об издании:
Санкт-Петербург 1995 237 с.
Язык:
rus
|
|