|
Книга ID: 1491118
Химическое травление полупроводниковых соединений Учеб. пособие по курсу "Физ.-хим. основы технологии микроэлектроники" И. Н. Сорокин, Н. Г. Назаров; Моск. ин-т электрон. техники
Тематика, ключевые слова:
Полупроводники - Травление.
Сведения об издании:
М. МИЭТ 1992 96 с. 20 см
Язык:
rus
|
|