Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. Пашков, Владимир Юрьевич. Москва 1996. купить

Регистрация

Вход

Изготовление электронных копий любых изданий

	Автор: Пашков, Владимир Юрьевич
	Книга ID: 144815 Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 Тематика, ключевые слова: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника. плазма. Сведения об издании: Москва 1996 255 с. Язык: rus	Цена не определена. Для уточнения: WhatsApp или [email protected]