|
Книга ID: 144503
Статистическое регулирование технологических процессов изготовления микроэлектронных устройств : диссертация ... доктора технических наук : 05.12.13
Тематика, ключевые слова:
Системы и устройства радиотехники и связи. микроэлектронные устройства.
Сведения об издании:
Санкт-Петербург 1996 409 с.
Язык:
rus
|
|