|
Книга ID: 1438553
Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб
Тематика, ключевые слова:
Полупроводниковые приборы - Производство - Гидродинамические исследования. Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Гидродинамические исследования.
Сведения об издании:
Л. Политехника 1991 287,[1] с. 22 см
Язык:
rus
|
|