|
Книга ID: 14211
Влияние фотовозбуждения электронной подсистемы кремния на образование и перестройку радиационных дефектов при ионной имплантации : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 АН СССР. Ин-т проблем технол. микроэлектрон. и особочистых мат-лов
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Москва 1991 14 с.
Язык:
rus
|
|