|
Книга ID: 1414
Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.21 Казанский гос. техн. ун-т
Тематика, ключевые слова:
Радиотехнические системы специального назначения, включая технику СВЧ и технологию их производства.
Сведения об издании:
Казань 1998 15 с.
Язык:
rus
|
|