|
Книга ID: 1412660
Высокочастотные источники ионов для ионной технологии Ананьев О. А., Дьяченко [!Дьячков] Б. А., Павлов В. Я.
Тематика, ключевые слова:
Ионные источники высокочастотные. Электронно-ионная технология.
Сведения об издании:
Киев ИФ 1990 32,[1] с. 20 см.
Язык:
rus
|
|