|
Книга ID: 14126
Влияние физико-химических параметров ионно-плазменного осаждения на структуру пленок нитридов ниобия и титана : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 02.00.04 Ин-т химии твердого тела
Тематика, ключевые слова:
Физическая химия.
Сведения об издании:
Екатеринбург 1993 22 с.
Язык:
rus
|
|