|
Книга ID: 136421
Численное моделирование радиационно-ускоренной диффузии легирующих примесей в кремнии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 Ин-т физики полупроводников
Тематика, ключевые слова:
Физика твердого тела.
Сведения об издании:
Новосибирск 1993 17 с.
Язык:
rus
|
|