|
Книга ID: 1362889
Процессы ионно-плазменной технологии в мироэлектронике [Текст лекций В. А. Вольпяс, Е. К. Гольман, А. Г. Зайцев]; Под ред. А. Б. Козырева; Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
Сведения об издании:
Л. ЛЭТИ 1989 47,[1] с. 20 см
Язык:
rus
|
|