|
Книга ID: 13510
Взаимодействие тугоплавких металлов с галогенсодержащей плазмой тлеющего ВЧ разряда : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 Физ.-технол. ин-т
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Москва 1992 18 с.
Язык:
rus
|
|