|
Книга ID: 1339230
Об одном методе восстановления изображений Ушаков Н. Г., Гайфуллин Б. Н.; АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектронные схемы интегральные - Электронно-микроскопические исследования.
Сведения об издании:
пос. Черноголовка (Моск. обл.) Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов 1989 22 с. 22 см
Язык:
rus
|
|