|
Книга ID: 13358
Влияние термообработок в водороде на эволюцию примесно-дефектной подсистемы кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Моск. ин-т электронной техники
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Сведения об издании:
Москва 1995 14 с.
Язык:
rus
|
|