|
Книга ID: 1330
Аппаратура и методы для эмиссионного спектрального анализа микропримесей в инертных газах в области вакуумного ультрафиолета : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 Санкт-Петербургский ин-т точной механики и оптики
Тематика, ключевые слова:
Оптические и оптико-электронные приборы.
Сведения об издании:
Санкт-Петербург 1997
16 с.
Язык:
rus
Аннотация:
В диссертации Мешалкина Михаила Анатольевича исследуется эмиссионный спектральный анализ микропримесей в инертных газах в области вакуумного ультрафиолета. Автор предлагает аппаратуру и методы для решения этой задачи, что может помочь в разработке оптических и оптико-электронных приборов.
|
|
