|
Книга ID: 1329849
Моделирование и оптимизация оптических схем фотолитографических установок К. А. Валиев, Д. Р. Илькаев, Т. М. Махвиладзе; ... Отд. микроэлектроники
Тематика, ключевые слова:
Фотолитографические установки. Микроэлектронные схемы интегральные - Производство.
Сведения об издании:
М. Б. и. 1988 59 с. 20 см
Язык:
rus
|
|