Влияние собственных точечных дефектов и водорода на свойства приповерхностных слоев полупроводников в условиях ионно-плазменной обработки : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 Рос. АН Ин-т проблем технол. микроэлектрон. и особочистых материалов. Ковешников, Сергей Викторович. Черноголовка 1992. купить

Регистрация

Вход

Изготовление электронных копий любых изданий

	Автор: Ковешников, Сергей Викторович
	Книга ID: 13218 Влияние собственных точечных дефектов и водорода на свойства приповерхностных слоев полупроводников в условиях ионно-плазменной обработки : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 Рос. АН Ин-т проблем технол. микроэлектрон. и особочистых материалов Тематика, ключевые слова: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника. Сведения об издании: Черноголовка 1992 18 с. Язык: rus	Цена не определена. Для уточнения: WhatsApp или [email protected]