|
Книга ID: 131605
Фоновые примеси и структурные дефекты в системе полуизолирующая подложка-эпитаксиальная пленка GaAs и методы их технологического контроля : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.10 Белорус. ун-т
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Сведения об издании:
Минск 1990 17 с.
Язык:
rus
|
|