|
Книга ID: 1314883
Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем В. В. Харченко; АН УзССР, Центр. проект.-конструкт. и технол. бюро науч. приборостроения
Тематика, ключевые слова:
Кремний - Осаждение из газовой фазы. Полупроводниковые пленки - Выращивание.
Сведения об издании:
Ташкент Фан 1989 167,[1] с. 22 см
Язык:
rus
|
|