|
Книга ID: 1279580
Ионная имплантация и лучевая технология [Дж. С. Вильямс, Дж. М. Поут, Дж. Ф. Гиббонс и др.]; Под ред. Дж. С. Вильямса, Дж. М. Поута; Перевод с англ. А. М. Евстигнеева; Под общ. ред. О. В. Снитко
Тематика, ключевые слова:
Ионное легирование. Электронно-лучевая технология.
Сведения об издании:
Киев Наук. думка 1988 357,[1] с. 22 см
Язык:
rus
|
|