|
Книга ID: 1243686
Химия в микроэлектронике (Хим. осаждение из газовой фазы) Э. Г. Раков, В. В. Тесленко
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектронные схемы интегральные - Получение. Тугоплавкие соединения - Осаждение из газовой фазы.
Сведения об издании:
М. Знание 1988 45,[2] с. 24 см
Язык:
rus
|
|