|
Книга ID: 1230439
Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектронные схемы интегральные - Размеры - Технический контроль. Технический контроль - Микроэлектронные схемы интегральные - Производство.
Сведения об издании:
М. Радио и связь 1988 165,[2] с. 22 см
Язык:
rus
|
|