|
Книга ID: 1217198
Макрокинетическая устойчивость плоского фронта кристаллизации в процессе газофазного осаждения бинарных соединений по механизму ПЖК / Ю. М. Григорьев, В. А. Кудряшов, М. И. Лебедева, К. Г. Шкадинский; АН СССР, Отд-ние Ин-та хим. физики
Тематика, ключевые слова:
Полупроводниковые пленки - Осаждение из газовой фазы. Полупроводниковые пленки - Кристаллизация.
Сведения об издании:
пос. Черноголовка (Моск. обл.) ОИХФ 1987 23,[1] с. 22 см
Язык:
rus
|
|