|
Книга ID: 1214562
Влияние низкотемпературного отжига на поведение атомов никеля в кремнии А. А. Лебедев, Э. С. Таптыгов, Э. А. Джафарова
Тематика, ключевые слова:
Никель - Влияние на свойства полупроводников. Кремний - Легирование никелем - Влияние термической обработки.
Сведения об издании:
Л. ФТИ 1987 11 с. 20 см
Язык:
rus
|
|