|
Книга ID: 1213780
Методы получения аморфных пленок кремния [Сост. В. С. Орлов и др.]
Тематика, ключевые слова:
Полупроводниковые пленки - Получение - Обзоры информационные. Кремний аморфный - Осаждение - Обзоры информационные.
Сведения об издании:
М. НИИТЭхим 1987 61,[1] с. 20 см
Язык:
rus
|
|