|
Книга ID: 12034
Воздействие радиационных дефектов на диффузию фосфора в имплантированном кремнии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Белорус. гос. ун-т
Тематика, ключевые слова:
Физика полупроводников и диэлектриков.
Сведения об издании:
Минск 1993 14 с.
Язык:
rus
|
|