Изготовление электронных копий любых изданий

Ионно-лучевая модификация материалов Аналит. обзор. [Библиогр. подборка информ.] Междунар. центр науч. и техн. информ., Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР; [Разработчики В. А. Агафонова и др.]