|
Книга ID: 1189289
Моделирование процессов имплантации в многослойные структуры : (Одномер. вариант 1) Бекишева А. М., Дагман Э. Е., Тишковский Е. Г.
Тематика, ключевые слова:
Ионное легирование - Математическое моделирование.
Сведения об издании:
Новосибирск ИФП 1987 37 с. 19 см
Язык:
rus
|
|