|
Книга ID: 1176939
Расчет газодинамических процессов в проточных газоэпитаксиальных реакторах с использованием матричного модуля ЕС-1055М И. Г. Всесветский, А. И. Жмакин, Л. А. Кадинский, Ю. Н. Макаров
Тематика, ключевые слова:
Полупроводниковые пленки - Получение - Переноса явления.
Сведения об издании:
Л. ФТИ 1987 25 с. 20 см
Язык:
rus
|
|