|
Книга ID: 1176619
Методы изоляции активных элементов полупроводниковых интегральных схем Учеб. пособие по курсу "Технология полупроводниковых интегр. схем" Л. И. Матына, Ю. Д. Чистяков, А. А. Щербинин; Под ред. Ю. Д. Чистякова; Моск. ин-т электрон. техники
Сведения об издании:
М. МИЭТ 1987 55 с. 20 см
Язык:
rus
|
|