|
Книга ID: 1173926
Численное моделирование фотолиза кислорода вакуумным ультрафиолетом и механизмы ВУФ и травления полимерных пленок в кислоросодержащей атмосфере К. А. Валиев, Т. М. Махвиладзе, С. Б. Пекарчук
Тематика, ключевые слова:
Кислород - Фотолиз - Математическое моделирование. Полимерные пленки - Травление.
Сведения об издании:
М. Б. и. 1986 33 с. 21 см
Язык:
rus
|
|