|
Книга ID: 116644
Синтез слоев нитрида и диоксида кремния осаждением из газовой фазы на основе хлорпроизводных моносилана : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.04 Сиб. отд-ние АН СССР. Ин-т химии твердого тела и переработки минер. сырья
Тематика, ключевые слова:
Физическая химия.
Сведения об издании:
Новосибирск 1990 19 с.
Язык:
rus
|
|