Влияние плазменной обработки на отжиг дефектов и активацию легирующих примесей в имплантированных МДП-структурах : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Ин-т полупроводников. Валиев, Саттарали Ахмедович. Киев 1990. купить

Регистрация

Вход

Изготовление электронных копий любых изданий

	Автор: Валиев, Саттарали Ахмедович
	Книга ID: 11602 Влияние плазменной обработки на отжиг дефектов и активацию легирующих примесей в имплантированных МДП-структурах : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 Ин-т полупроводников Тематика, ключевые слова: Физика полупроводников и диэлектриков. Сведения об издании: Киев 1990 14 с. Язык: rus	Цена не определена. Для уточнения: WhatsApp или [email protected]