|
Книга ID: 11578
Высокоразрешающие процессы образования изображения в микролитографии : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 Ин-т кибернетики
Тематика, ключевые слова:
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника.
Сведения об издании:
Киев 1991 33 с.
Язык:
rus
|
|