|
Книга ID: 115776
Статистическое регулирование технологических процессов изготовления микроэлектронных устройств : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.12.13 Санкт-Петербургская академия аэрокосмич. проборостроения
Тематика, ключевые слова:
Системы и устройства радиотехники и связи.
Сведения об издании:
Санкт-Петербург 1996 31 с.
Язык:
rus
|
|