Изготовление электронных копий любых изданий

Учебное пособие по курсу "Микроминиатюризация полупроводниковых элементов." Гибридные интегральные микросхемы К. И. Мартюшов, Н. Н. Ширинская, Л. И. Сурогин, Т. К. Кузищина; Ред. Ю. В. Зайцев; Моск. энерг. ин-т