|
Книга ID: 1129426
Самоформирование в полупроводниковой технологии С. Янушонис, В. Янушонене; [АН ЛитССР, Ин-т физики полупроводников]
Тематика, ключевые слова:
Полупроводниковые приборы - Производство. Микроэлектронные схемы интегральные - Производство.
Сведения об издании:
Вильнюс Мокслас 1985 191,[1] с. 22 см.
Язык:
rus
|
|