|
Книга ID: 1128157
Моделирование электронно-литографического процесса экспонирования полимерных резистов К. А. Валиев, А. Н. Кириллов, Б. Н. Ковтун и др.; ... Лаб. микроэлектроники
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектронные схемы интегральное - Производство - Математические исследования. Фотолитография - Математические исследования.
Сведения об издании:
М. Б. и. 1985 34 с. 20 см
Язык:
rus
|
|