|
Книга ID: 1128145
Методы коррекции эффекта близости в электронно-лучевой литографии К. А. Валиев, А. Н. Кириллов, Б. Н. Ковтун и др.; ... Отв. микробиологии
Тематика, ключевые слова:
Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Математические исследования. Фотолитография - Математические исследования.
Сведения об издании:
М. Б. и. 1985 24,[5] с. 20 см
Язык:
rus
|
|